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系統(tǒng)由中央純水設(shè)備、純水系統(tǒng)管網(wǎng)、終端純水取水點(diǎn)、終端超純水設(shè)備組成,系統(tǒng)主機(jī)采用一備一用,可同時(shí)制水、不間斷供水,純水電導(dǎo)率≤5μS/cm(25℃)達(dá)到三級(jí)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),超純水電阻率≥18 M?.cm@25℃,達(dá)到高純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
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